ВАКУУММАШ


Акционерное общество «Вакууммаш» является крупнейшим предприятием по выпуску вакуумного оборудования в Российской Федерации и странах СНГ

Сухие механические насосы, вакуумные насосы с масляным уплотнением, вакуумные насосы Рутса, водокольцевые вакуумные насосы, пароводяные эжекторные вакуумные насосы, высоковакуумные насосы, вакуумные агрегаты и системы, арматура, установки, средства измерения вакуума, течеискатели, фитинги, вакуумные масла


Сухие механические насосы

Спиральные вакуумные насосы НВСп: НВСп-4, НВСп-12, НВСп-35
Создают абсолютно чистый вакуум и работают с высокой эффективностью в течение всего процесса.
Двухступенчатые мембранные вакуумные насосы DIVAC L:  DIVAC 0.6 L, DIVAC 1.2 L, DIVAC 2.2 L
Стойкие к действию растворителей и коррозии поскольку их основные части изготавливаются из фторопласта, перфторированного каучука и ПВДФ (поливинилиденфторид).
Когтевой вакуумный насос CLAWVAC: CP300, CP150, CP65
Предельное давление до 50 мбар. Минимальный уровень шума, обеспечиваемый встроенным глушителем и конструкцией насоса.  Выполнены из нержавеющей стали и имеют антикоррозионное покрытие.
Сухой вакуумный насос ECODRY plus:  ECODRY 65 plus, ECODRY 40 plus
Низкий уровень шума, бесконтактные роторы с низкой вибрацией, вентиляторы с пониженным уровнем шума, обеспечивающие эффективное охлаждение.
Трехступенчатые мембранные насосы Divac 1,4 HV3C
Устойчив к химическому воздействию. Скорость насоса можно плавно регулировать от 700 до 1600 об/мин, поэтому быстрота действия насоса может легко меняться в зависимости от требований. Стойкость при к  агрессивным газам. Давление до 2 мбар.
Форвакуумные мембранные насосы для турбомолекулярных насосов
DIVAC 0.8 T, DIVAC 0.8 LT, DIVAC 1.4 HV3, DIVAC 3.8 HV3, DIVAC 4.8 VT
Низкое давление и высокий уровень вакуума, не содержащего примесей углеводородов.
Спиральные вакуумные насосы SCROLLVAC SC 5 D, SCROLLVAC SC 15 D , SCROLLVAC SC 30 D, SCROLLVAC SC 60 D
Создают абсолютно чистый вакуум и работают с высокой эффективностью в течение всего процесса.
Сухие винтовые насосы LEYVAC
LEYVAC LV 80, LEYVAC LV 80 C, LEYVAC LV 140, LEYVAC LV 140 C, LEYVAC LV 250, LEYVAC LV 250 C
Стойкость к большим перегрузкам, высокая быстрота действия. Насосы оснащаются водяным охлаждением. Быстрота действия в диапазоне от 80 до 140 м3/ч.
Винтовые вакуумные насосы SCREWLINE SP:      SCREWLINE SP 250, SCREWLINE SP 630
Быстрота действия при частоте 50 Гц, 270 м3/ч
Винтовые вакуумные насосы DRYVAC
DRYVAC DV 450, DRYVAC DV 650, DRYVAC DV 650 r, DRYVAC DV 650 i, DRYVAC DV 1200, DRYVAC DVR 5000 С-i

для откачки среды в процессах фотовольтаики. Стойкость к вредным веществам. 


Вакуумные насосы с масляным уплотнением

для создания низкого и среднего вакуума или в качестве насоса для предварительной откачки в комбинации с насосом Рута или насосом высоковакуумной откачки. У масляных вакуумных насосов различают одно- и двухступенчатые насосы. Предельное давление вакуумного насоса в зависимости от модели достигается от 0,5 мбар до 5 ∙ 10-5 мбар.
Винтовой насос VACUBE: VACUBE iCH, VACUBE iH, VACUBE i
Высокий потенциал энергосбережения.
Пластинчато-роторные вакуумные насосы
Для откачки воздуха, химически неактивных газов, паров и парогазовых смесей, не воздействующих на материалы конструкции и рабочую жидкость насосов.


Вакуумные насосы Рутса

НВД двухроторные вакуумные насосы: НВД-200, НВД-600
Насосы вакуумные двухроторные НВД предназначены для откачки из герметичных сосудов с давлением не более 106,7 кПа (800 мм рт.ст.) воздуха, не агрессивных к материалам конструкции пожаро-взрывобезопасных и нетоксичных газов, паров и парогазовых смесей, очищенных от капельной влаги и механических загрязнений, с содержанием кислорода не более чем в воздухе (21% по объему) при нормальных условиях, от атмосферного давления до предельного остаточного. Насосы могут работать только совместно с форвакуумным насосом и предназначены для откачки в интервале давлений от 1,3•102 Па (1 мм рт.ст.) до предельного остаточного давления. Насосы не предназначены для перекачки воздуха, паров и парогазовых смесей из одного объема в другой.
Насосы RUVAC
-RUVAC WA/WAU 251, RUVAC WA/WAU 501, RUVAC WA/WAU 1001,RUVAC WA/WAU 2001
изготавливаются со стандартными трёхфазными фланцевыми двигателями с воздушным охлаждением. Смазанные кольцевые уплотнения насосов RUVAC WA для уплотнения вала изготавливаются из КАУЧУКА FPM (FKM) (флюорополимера). Вакуумные насосы типа Рутс серии RUVAC WAU оборудованы дополнительной интегрированной байпасной линией и клапанами-регуляторами перепада давления. В стандартном исполнении насосы данной серии осуществляют откачку вертикально.

-RUVAC WS 251, RUVAC WS 501, RUVAC WS 1001, RUVAC WS 2001
При возникновения чрезмерно большого перепада давлений частота вращения двигателя насоса автоматически уменьшается. Вакуумные насосы типа Рутс серии RUVAC WSU оборудованы дополнительной интегрированной байпасной линией и клапанами-регуляторами перепада давления. Насосы данной серии осуществляют откачку вертикально.

-RUVAC WH 700 / WH 702, RUVAC WH 2500, RUVAC WH 4400, RUVAC WH 7000, 
оборудованы герметично уплотнёнными двигателями и интегрированной системой водяного охлаждения. Оснащены устройствами подачи продувочного газа для откачки коррозионно активных и токсичных газов.

-RUVAC WSLF 1001
Для работы с газовыми лазерами. С двигателями повышенной мощности  для работы в компоновке с частотными преобразователями. В стандартном исполнении изготавливаются с покрытиями, наносимыми методом никелирования или ионно-плазменного азотирования. Осуществляют откачку горизонтально.


Водокольцевые вакуумные насосы и агрегаты на их базе

Водокольцевые вакуумные насосы ВВН:  2ВВН, 3ВВН
Высокая надежность, простота конструкции, низкий уровень шума и вибрации, способность откачивать любые газы и пары, в том числе загрязненные, пожаровзрывоопасные, содержащие капельные жидкости.
АВВ агрегаты на базе водокольцевых вакуумных насосов (АВВ):  АВВ-0,3, АВВ-3, АВВ-6, АВВ-12, АВВ-25, АВВ-50
предназначены для создания и поддержания вакуума в диапазоне рабочих давлений от атмосферного до 10 мм рт.ст. Позволяют повысить их производительность при давлении всасывания ниже 150 мм рт. ст., получить более глубокий вакуум (5-10 мм рт.ст.) по сравнению с вакуумом (60-80 мм рт.ст.), достигаемым водокольцевым вакуумным насосом без эжектора. Агрегаты предназначены для работы на жидкостях и малорастворимых в них газах и парах не агрессивных к материалам конструкции агрегатов, не пожаро-взрывоопасных и не токсичных.
Вакуумные эжекторы ЭВ: ЭВ-0,3, ЭВ-3М, ЭВ-6, ЭВ-12, ЭВ-25, ЭВ-50
Для повышения производительности и получения более глубокого вакуума водокольцевые вакуумные насосы ВВН комплектуются эжекторной ступенью ЭВ. Эжекторы предназначены для откачки газов и парогазовых смесей.


Пароводяные эжекторные вакуумные насосы

- для создания и поддержания вакуума путем откачки газов и паров в аппаратах различных технологических линий химической, нефтяной и других отраслей промышленности;
- для откачки разнообразных сред: от воздуха до агрессивных паров органических кислот. 
Насосы состоят из последовательно соединенных эжекторов, промежуточных конденсаторов и патрубков. В зависимости от количества эжекторов насосы подразделяются на двух-, трех- и четырехступенчатые.


Высоковакуумные насосы

НВБМ насосы вакуумные бустерные паромасляные: 2НВБМ-160, 2НВБМ-250, 2НВБМ-400Р/6000, 2НВБМ-630Р/12000, 2НВБМ-630Р/18000
Предназначены для откачки из герметичных объемов воздуха, газов, паров и парогазовых смесей, не агрессивных к материалам конструкции и рабочей жидкости насоса в диапазоне входных давлений от 13,3 до 6,6•10-2 Па (от 1•10-1 до 5•10-4 мм рт.ст.) и не содержащих капельной влаги и механических загрязнений.
 


Турбомолекулярные насосы
-Турбомолекулярные насосы TURBOVAC i/iX с гибридным подшипником: TURBOVAC 350 i, 450 i, 350 iX, 450 iX, T 350 i, T 450 i, T 350 iX, 250 i/iX, 90 i/iX, T 450 iX
 обеспечивают простейшие подключение, функционирование и контроль откачки благодаря большому выбору вариантов корпусов и сопутствующей электроники, а так же наличию широкого спектра аксессуаров.

-Турбомолекулярные насосы TURBOVAC с механическим опорным подшипником ротора:    TURBOVAC 50, 151/151 C, 361 /361 C, 600 C, 1000 C, 1100 C, SL 80, SL 80 H/SL 80 C, SL 300, SL 700, TW 250 S без, частотного преобразователя, TW 250 S с частотным преобразователем, TW 1600, TW 2401
Работают в диапазоне 10-1 мбар (0,75 x 10-1 Торр) до 10-10 мбар (0,75 x 10-1 Торр). Быстрота действия по воздуху: 35 л/с до 2400 л/с. Благодаря компактной конструкции, надежным и долговечным керамическим подшипникам и простой эксплуатации эта линейка турбомолекулярных вакуумных насосов широко используется во всех высоко- и сверхвысоковакуумных применениях.
-Турбомолекулярные насосы TURBOVAC MAGiNTEGRA с магнитным подвесом ротора с интегрированным частотным преобразователем: TURBOVAC MAG W 300/400 iP, MAG W 600/700 iP, MAG W 1300 iP(L), MAG W, 1700 iP(L), MAG W 2200 iP(L) , Бустер TURBOVAC MAG W 1600 iP(L)
Характерными особенностями данных насосов на магнитной подвеске являются точность работы и надёжность. Высокие быстрота действия и газопроизводительность, обеспечивающие меньшее время прокачки, позволяют сократить время производственного цикла. Благодаря полностью интегрированным частотному преобразователю и источнику питания использование монтируемого на стойке контроллера и соединительных кабелей больше не является необходимым. Насосы данной серии оснащены патрубками для подачи продувочного газа.
-Турбомолекулярные насосы TURBOVAC MAG DIGITAL с магнитным подвесом ротора с внешним частотным преобразователем: TURBOVAC MAG W 300/400 P, W 600/700 P, W 830 (C), W 1300 (C), W 1500 CT, W 2000 C/CT, W 2200 / 2200 C / 2200 CT, W 2800 / 2800 C / 2800 CT, W 3200 CT
Работают в диапазоне давлений от 10-1 мбар (0,75×10-1 мм рт.ст.) до 10-10 мбар (0,75×10-10 мм рт.ст.). Быстрота действия по воздуху варьируется от 300 л/с до 3200 л/с. Насосы TURBOVAC MAG используются в областях, в которых важное значение имеет низкий уровень шума, чрезвычайно низкая вибрация или условия создания вакуума в отсутствие углеводородов
-Электронные частотные преобразователи для насосов TURBOVAC
TURBOTRONIK NT 10, TURBO.DRIVE TD 20 classic, TURBO.DRIVE TD 240, TURBO.DRIVE TD 400, Блок питания, TURBO.POWER 300, Блок питания TURBO.CONTROL 300, Блок питания TURBO.CONTROL 700
Для работы турбомолекулярных вакуумных насосов TURBOVAC и управления ими необходимы электронные преобразователи частоты.
-Электронные частотные преобразователи для насосов TURBOVAC MAG
MAG.DRIVE S, MAG.DRIVE digital, Блок питания TURBO.POWER 500
Помимо установок, монтируемых на вершине насоса, и установок, монтируемых на стойке, существуют конвертеры, непосредственно интегрированные в вакуумный насос. Для передачи информации и системной интеграции существуют несколько типов интерфейса.
 


НД новое поколение высоковакуумных диффузионных паромасляных насосов
Насос НД-250, НД-400, НД-500, НД-630, НД-800, Насос НД-1000

Насосы вакуумные диффузионные паромасляные НД с водяным охлаждением предназначены для откачки воздуха, газов, паров и парогазовых смесей, не содержащих капельной влаги и механических загрязнений. Насосы рассчитаны на работу в стационарных условиях во взрывобезопасном помещении. 
Отличаются от насосов серии НВДМ расширенным, в области низкого вакуума, диапазоном рабочих давлений и значительно улучшенным выпускным давлением.


Крионасосы COOLVAC / Криоголовки COOLPOWER / Компрессоры COOLPAK
Криогенные насосы COOLVAC
Охлаждающие головки COOLPOWER
Компрессоры COOLPAK
Криостаты-рефрижераторы
Вакуумные насосы COOLVAC представляют собой насосы, принцип действия которых основан на улавливании газообразных веществ путём осаждения их на холодных поверхностях насоса способом криоконденсации, криосорбции или криостабилизации. Для этой цели рабочие поверхности насоса (криопанели) охлаждаются до достаточно низких температур. Насосы COOLVAC охлаждаются с помощью двухступенчатых охлаждающих головок серии COOLPOWER по принципу Гиффорда/МакМахона. Насосы COOLVAC создают сверхвысокий безмасляный вакуум в диапазоне давлений от 10-3 мбар до 10-11 мбар (от 0,75•10-3 до 0,75•10-11 мм рт.ст.).
 


НВДМ высоковакуумные диффузионные паромасляные насосы: НВДМ-100, 160, 250
НВДМ являются наиболее широко применяемыми в промышленности насосами для получения высокого и сверхвысокого вакуума. Насосы предназначены для откачки из герметичных объемов воздуха, газов, паров и парогазовых смесей, не агрессивных к материалам конструкции и рабочей жидкости и не содержащих капельной влаги и механических загрязнений.
Насосы могут эксплуатироваться при температуре окружающей среды от 10 0С до 45 0С и температуре охлаждающей воды от 10 0С до 20 0С.
 


Ловушки: Ловушки азотные заливные ЛА, Ловушки проточные водяные ЛП
Предназначены для улавливания паров или газов с целью предотвращения или уменьшения их проникновения из одной части вакуумной системы в другую.


Вакуумные агрегаты и системы

Агрегаты вакуумные ротационные (АВД) АВД-50/5, АВД-50/16, АВД-150/25, АВД-150/63
Агрегаты вакуумные двухроторные (ротационные) АВД предназначены для откачки из герметичных сосудов воздуха, неагрессивных к рабочей жидкости и материалам конструкции пожаро-взрывобезопасных и нетоксичных газов, паров и парогазовых смесей, очищенных от капельной влаги и механических загрязнений, с содержанием кислорода не более, чем в воздухе (21% по объему) от атмосферного давления до предельного остаточного. Имеют наибольшую быстроту действия в диапазоне входных давлений от 1,3•102 до 6,6 Па (от 1 до 5•10-2 мм рт.ст.). Агрегаты также могут применяться в качестве агрегата предварительного разрежения для высоковакуумных насосов.
АВДМ агрегаты высоковакуумные диффузионные паромасляные: АВДМ-100, АВДМ-160, АВДМ-250
- простота и надежность конструкции;
- агрегат технологичен;
- обслуживается одним оператором;
- его компоновка облегчает монтажные работы и обеспечивает повышенные удобства эксплуатации.
Вакуумные системы с масляным уплотнением
-3-х ступенчатые вакуумные системы RUTA c насосом TRIVAC:  2-х ступенчатые вакуумные системы RUTA  комплектуется двухступенчатым пластинчато-роторным насосом TRIVAC и двухроторным вакуумным насосом типа Рутс различных конфигураций.
-2-х ступенчатые вакуумные системы RUTA с насосом SOGEVAC
-2-х и 3-х ступенчатые вакуумные системы RUTA с насосами E/DK
-Централизованные вакуумные системы с насосом SOGEVAC
-Вакуумные системы TVD
Как правило, вакуумная система является комбинацией насосов Рутса с интегрированной байпасной системой и форвакуумных насосов с масляным уплотнением для создания предварительного вакуума. Одноступенчатые насосы  способны обеспечить скорость откачки в диапазоне от 250 до 16000 м3/ч. Более высокие показатели могут быть достигнуты путем параллельного соединения нескольких насосов. 
-Высоковакуумные системы: Серия PT
Для создания высокого и сверхвысокого вакуума дополнительно с высоковакуумным насосом необходимо использовать форвакуумный насос. «Oerlikon Leybold Vacuum» предлагает полностью укомплектованные, не требующие монтажа высоковакуумные системы из серии «PT». Так же в данной серии доступны системы под ключ и комплекты для самостоятельного монтажа.
PT 50, PT 50 KIT, PT 151, PT 151 KIT, PT 361, PT 361 KIT

Безмасляные вакуумные системы
- Отсутствие смазок и рабочих жидкостей позволяет обеспечивать высокую чистоту газовой среды в рабочей камере вакуумных агрегатов и насосов, что позволяет выводить на новый уровень технологические процессы, требующие наличие беспримесной газовой среды – исследовательские и экспериментальные задачи ядерной физики, ускорительно-накопительной техники, физики твердого тела, систем анализа и моделирования на атомарном уровне, нанотехнологии, космической техники;
 - При откачке активных, агрессивных или вредных газов нет необходимости очищать или утилизировать рабочую жидкость, что дает возможность их активного использования в полупроводниковых процессах, химическом производстве и т. п.;
 - Отсутствие необходимости следить за состоянием рабочих жидкостей позволяет внедрять откачные средства в новые сегменты, где прежде их использование было затруднено.
Безмасляный вакуумный насос (сухой вакуумный насос) отличается высоким уровнем производительности в широком диапазоне рабочих давлений. Благодаря этому свойству такие насосы с успехом применяются при откачивании ваккумных полостей значительного объема, а также в системах, которые требуют откачки больших потоков газа. Неоспоримым достоинством, которым обладают безмасляные вакуумные насосы, является высокая надежность, обеспечивающая их долгую работу без перебоев.
Форвакуумные системы
-RUTA WAU 501/SP250A, RUTA WAU 501/SP 250/G, RUTA WAU 1001/SP250/A, RUTA WAU 1001/SP250/G, RUTA WAU 2001/SP250/G, RUTA WAU 2001/SP630F/A, RUTA WAU 2001/SP630F/G, RUTA RA 3001/SP630F/G, RUTA RA 5001/SP630F/G, RUTA RA 7001/SP630F/G, RUTA RA 9001/SP630F/G

Высоковакумные системы
-Откачные посты Turbolab нового поколения: 
Откачной пост Turbolab 80 N
Откачной пост Turbolab 350i N
Откачной пост Turbolab 450i N
-Откачные посты прошлого поколения:
HV-Pump system TURBOLAB 80 Basic
HV-Pump system TURBOLAB 80 Full Featured
HV-Pump system PT 151 DRY
Turbomolecular pump system PT 300 DRY
HV - pump system PT 80 H DRY
HV-Pump system PT 80 DRY
HV-Pump system PT 361 DRY