COMET Plasma Control Technologies

• Сайт производителя

Отправить запрос

Занимает место ведущего эксперта по высокому  вакууму и  технологии RF.  Разрабатывает и производит высококачественные вакуумные конденсаторы, высокопроизводительные РЧ-генераторы и сети согласования импеданса. Эти специализированные продукты используются для точного управления плазменными процессами, такими как тонкопленочное осаждение и травление полупроводников, плоских панелей, солнечных панелей и промышленных покрытий.

ВАКУУМНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ

Вакуумные конденсаторы производства Comet, обладают характеристиками, позволяющими эффективно применять их в мощном радиоэлектронном оборудовании:

Передатчики СВ- и КВ- диапазонов мощностью до 500 кВт;

Используются в качестве накопителей в устройствах-возбудителях плазмы в установках плазменного напыления и плазменной плавки;

Блоки подстройки антенн, смесители, фазовращатели;

Высокочастотная сушка, склейка, промышленная сушка, сварка пластмасс.

Вакуумные конденсаторы постоянной емкости:

Емкость (Сmax):              50 пФ – 5000 пФ

Напряжение (рабочее):              1,8 кВ – 42 кВ

Напряжение (максимальное):  3 кВ – 70 кВ

Рабочий ток:     27 А – 543 А

Максимальный ток на частоте 13.56 МГц:        7 Аrms – 459 Arms

Диаметр:           49 мм – 210 мм

Общая длина:  52 мм – 230 мм

Вакуумные конденсаторы переменной емкости:

Емкость (Сmax):              30 пФ – 2600 пФ

Напряжение (максимальное рабочее):              1,8 кВ – 42 кВ

Напряжение (максимальное испытанное):       3 кВ – 60 кВ

Рабочий ток:     16 А – 870 А

Индуктивность (@Сmax):           ≤ 4 нГн ≤ 44 нГн

Диаметр:           35 мм – 211 мм

Общая длина:  99 мм – 636 мм

Генераторы RF

Полнофункциональные высокочастотные генераторы с 13 МГц до 100 МГц и мощностью от 600 Вт до 7 кВт с импульсным и точным контролем мощности.

cito Plus,

превосходное качество пульсации, стабильность и точность измерения мощности, что делает его лучшим выбором для плазменного напыления и травления, а также для не-полупроводниковых приложений.

Первые две цифры маркировки, это - частота (МГц), остальные цифры * 100 дают мощность ВЧ (Вт)

cito Plus 6010-ACNA-N25A-FP                   cito Plus 6010-ACNA-N37A-FN                   cito Plus 6010-ACNA-N25C-FP

cito Plus 606-APNA-N25A-FP                      cito Plus 606-APNA-N25A-FN                     cito Plus 606-ACNA-N37A-FP

cito Plus 606-ACNA-N37A-FN                     cito Plus 6010-APNA-N25C-FP                    cito Plus 6010-APNA-N25C-FN

cito Plus 6010-APNA-N25A-FN                   cito Plus 6010-ACNA-N37A-FP                   cito Plus 1310-ACNA-N25A-FN

cito Plus 1310-ACNA-N25A-FP                   cito Plus 1310-ACNA-N25C-FP                   cito Plus 1310-ACNA-P37A-FP

cito Plus 136-ACNA-N37A-FP                      cito Plus 1310-ACNA-N37A-FP                   cito Plus 1310-ACNA-N37C-FN

cito Plus 1310-ACNA-N37A-FP-003           cito Plus 136-ACNA-N37A-FN                     cito Plus 136-ACNA-N25A-FN

cito Plus 1310-APNA-N37A-FP-003           cito Plus 1310-APNA-N25A-FP                    cito Plus 1310-APNA-N25A-FN

cito Plus 1310-APNA-N25C-FP-002           cito Plus 1310-APNA-N25C-FP                    cito Plus 1310-APNA-N37A-FP

cito Plus 1310-APNA-P37A-FP                    cito Plus 136-ACNA-P37A-FP                      cito Plus 136-ACNA-N25A-FP

cito Plus 136-APNA-N25A-FN                     cito Plus 136-APNA-N25A-FP

cito RF Power Generator

для полупроводниковых, OLED TFE, солнечных и промышленных разработок.

Первые две цифры маркировки, это - частота (МГц), остальные цифры * 100 дают мощность ВЧ (Вт)

cito 2710-ACNA-N37A-FF             cito 2710-ACNA-N25C-FF             cito 2720-WC7C-N37C-FF

cito 2720-WC7C-N25A-FF            cito 2710-ACNA-N9A-FF               cito 276-ACNA-N9A-FF

cito 406-ACNA-N37A-FF              cito 4010-ACNA-N37A-FF             cito 4020-WC7B-N37A-FF

cito 4020-WC7C-N37A-FF            cito 4040-WC7B-N37A-FF             cito 6020-WC7B-N37A-FF

cito 4060-WC7B-N37A-FF            cito 4060-WC7B-N9A-FF               cito 4040-WC7C-N9A-FF

cito 4020-WC7C-N9A-FF              cito 4010-ACNA-N9A-FF               cito 4010-ACNA-N37C-FF

cito 4040-WC7C-N25C-FF            cito 4060-WC7B-P37C-FF              cito 4040-WC7C-N37A-FF

cito 6020-WC7C-N37A-FF            cito 406-ACNA-N9A-FF                  cito 6040-WC7B-N37A-FF

cito 6060-WC7B-N37A-FF            cito 6040-WC7C-N37A-FF

Smart-Con

Компактный дизайн. Серия Smart-Con обеспечивает на 45% большую плотность мощности (по сравнению с сериями Uni-Con) в компактном, умном и запатентованном дизайне. Этот переменный вакуумный конденсатор способен покрывать чрезвычайно широкий диапазон импеданса из-за комбинации высокого напряжения, высокочастотного тока и широкого диапазона настройки.  Максимальная мощность в минимальном конверте.

Конденсаторы Smart-Con предназначены для оптимизации современных приложений плазменного процесса: они обеспечивают максимальную мощность в классе 10 кВт с минимальной площадью по сравнению с Uni-Con. Верхняя монтажная панель Smart-Con находится на потенциале земли. Это облегчает установку без каких-либо дополнительных изоляционных  элементов. Специальные соединительные фланцы обеспечивают быструю установку. Высокое рабочее напряжение Upw допускает высокие токи в широком диапазоне импеданса, исключая снижение мощности.

От 100 пФ до 750 пФ, доступных в одном размере

ВЧ-ток до 150 А

Диапазон настройки: Cmax / Cmin = 25

Емкость (Cmax) от 100 пФ до 750 пФ

Напряжение (пиковое испытание) от 12 кВ до 30 кВ

Ток (среднеквадратичный) 106 A до 131 A

Диаметр 64 мм

Общая длина 242 мм

Индуктивность (@ Cmax) ≤ 7 nH до ≤ 9 nH

Uni-Select

Длина 200 мм, малой мощности и других промышленных применений

Прочная конструкция со стандартным квадратным монтажным фланцем 42 мм

Оптимизированная система привода для быстрой настройки

Диапазон частот от 2 МГц до 60 МГц

Емкость (Cmax) от 100 пФ до 1500 пФ

Напряжение (пиковое испытание) 3 кВ - 15 кВ

Ток (среднеквадратичный) 54 A до 57 A

Диаметр 54 мм

Общая длина 133,6 мм - 134,1 мм

Индуктивность (@ Cmax) ≤ 6 nH - ≤ 9 nH

Первые две цифры маркировки, это - ёмкость (пФ), знаменатель - напряжение (кВ)

CVUS-1000AC/5-BEAK    CVUS-1000AC/5-BEJK     CVUS-1000AC/5-JHJK     CVUS-100AC/15-BEJK

CVUS-100AC/15-JHJK     CVUS-1500AC/3-BEJK     CVUS-1500AC/3-JHJK     CVUS-250AC/15-BEJK

CVUS-250AC/15-JHJK     CVUS-500AC/8-BEAK      CVUS-500AC/8-BEJK       CVUS-500AC/8-JHJK

Подстроечный конденсатор

представляют собой вакуумные конденсаторы между фиксированными и переменными, обеспечивая решение потребности в очень точных фиксированных конденсаторах.

Возможность компенсировать небольшие, но критические, импедансные различия.

Компенсация «дрейфа» инструмента со временем.

Используется для очень точного делителя напряжения

Менее дорогостоящее, чем автоматическое решение

Точная регулировка +/- 1,7 оборота для +/- 5 пФ

Технические характеристики Mini-Tune Series

Емкость (Cmax) от 15 пФ до 440 пФ

Напряжение (пиковый тест) 15 кВ или 30 кВ

Ток (среднеквадратичный) 14 A

Диаметр от 49 мм до 74 мм

Общая длина от 52 до 87 мм

Ultra Life

Повысьте надежность и полезный срок службы вашей сети согласования импеданса.  Возрастающее количество процессов травления / осаждения приводит к увеличению числа необходимых инструментов. Производственные процессы становятся более быстрыми, отдельные шаги короче и чаще, а требования к оборудованию растут.

Система привода Comet Ultra Life увеличивает емкость конденсатора и  продолжительность жизни сети в три или более раз.